簡(jiǎn)要描述:BTF-1200C-SL-L-CVD是一款智能型滑軌式CVD系統。該設備主要分為五大部分:加熱系統,真空系統,氣體控制供給系統,自動(dòng)控制移動(dòng)系統,控制軟件系統組成。
詳細介紹
品牌 | 貝意克 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
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應用領(lǐng)域 | 地礦,能源,冶金,汽車(chē),綜合 |
BTF-1200C-SL-L-CVD是一款智能型滑軌式CVD系統。該設備主要分為五大部分:加熱系統,真空系統,氣體控制供給系統,自動(dòng)控制移動(dòng)系統,控制軟件系統組成。爐膛為440mm溫區爐膛,配K型熱電偶,單點(diǎn)控溫;加熱爐置于滑軌上,可手動(dòng)在規定的范圍內任意滑動(dòng)到想要的位置并用限位器固定??;氣路系統采用4路流量計控制,經(jīng)由不銹鋼混氣罐混合,再進(jìn)入左端進(jìn)氣法蘭;左端法蘭端蓋上預留1路進(jìn)氣口,內部有不銹鋼導氣管,可將氣體導入加熱區位置。該設備適用于高校研究所以及研發(fā)型企業(yè)使用。
額定功率 | 3KW(加熱爐膛) |
額定電壓 | 220V 50/60Hz |
最高溫度 | 1200℃ |
持續工作溫度 | ≤1100℃ |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min |
加熱區長(cháng)度 | 440mm |
熱電偶 | K型熱電偶 |
控溫方式 | 10寸觸液晶屏觸摸控制,模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
爐體尺寸 | 220*750*1450mm(長(cháng)*寬*高) |
設備凈重 | 300KG |
爐管尺寸 | 高純石英管Φ100*1650mm |
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