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簡(jiǎn)要描述：等離子體增強回轉PECVD系統 主要特點(diǎn)我司研制的回轉PECVD系統能使整個(gè)實(shí)驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現象。
產(chǎn)品型號：BTF-1200C-R-PECVD廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新時(shí)間：2021-11-10訪(fǎng) 問(wèn) 量：1863詳細介紹
| 品牌 | 貝意克 | 價(jià)格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類(lèi) | 管式爐 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
| 應用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子 |
等離子體增強回轉PECVD系統
該款設備選用特殊形狀(兩頭細中間粗)的石英管作為化學(xué)氣相沉積的反應室;加熱的同時(shí)爐管可360度旋轉，管內壁有石英擋片幫助粉體材料翻炒有助于燒結得更均勻;而且爐體可左右大角度傾斜，方便進(jìn)出料，傾斜角度在0~35°可調。
此款設備現廣泛應用于低溫石墨烯制備實(shí)驗、粉體材料碳包覆實(shí)驗。
等離子體增強回轉PECVD系統 技術(shù)參數Technical Parameters
Furnace加熱爐 | |
Max. Tem最高溫度 | 1200℃ |
Heating zone length加熱區長(cháng)度 | 440mm |
Constant zone length恒溫區長(cháng)度 | 200mm |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調節 智能化30段可編程控制 超溫和斷偶報警功能 操作界面為7"工控電腦 |
Heating Elements 加熱元件 | 電阻絲（摻鉬鐵鉻鋁合金） |
Temperature Accuracy 控溫精度 | +/- 1℃ |
Processing tube 爐管 | 尺寸：Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm 爐管轉速：3~13r/min |
Furnace body inclination angle | 0~35°（adjustable） |
PE source PE源 | |
Signal frequency信號頻率 | 13.56 MHz±0.005% |
Power output range功率輸出范圍 | 0-500W |
RF output interface射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
Power stability功率穩定性 | ≤5W |
Gas supply system氣路系統 | |
High precision mass Flowmeter（Range optional） | 高精度質(zhì)量流量計（量程可選） |
Accuracy準確度 | ±1.5% |
Response accuracy響應精度 | ·±0.2% |
Response time響應時(shí)間 | 氣特性 電特性 |
Working pressure difference range工作壓差范圍 | 0.1～0.5MPa |
Max. pressure最大壓力 | ·3MPa |
Connection 連接頭類(lèi)型 | Φ6mm雙卡套不銹鋼接頭 |
Vacuum unit真空系統 | |
KF25 series bellows and manual stopper valves | 采用KF25系列波紋管和手動(dòng)擋板閥 |
Vacuum up to10-1Pa | 真空度可達10-1Pa |
The value can be displayed intuitively by the digital display vacuum tester | 數顯真空測試儀可直觀(guān)的顯示數值 |
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